Das hochauflösende Rasterelektronenmikroskop ZEISS SUPRA 55V verfügt über eine Feldemissionskathode (FEG: Field Emission Gun). Die Kombination aus FEG und der GEMINI -Säule erzielt eine hohe Bildauflösung über den gesamten Spannungsbereich.

Neben der herkömmlichen Untersuchungen im Hochvakuum (HV-Mode) steht der VP-Mode (variable Pressure) mit Drücken bis zu 1,33 mbar zur Verfügung.
Im VP-Modus können „feuchte“ Proben und Materialien die elektrisch nicht bzw. nur wenig leitfähig sind untersucht werden, eine Besputterung z.B. mit Gold ist nicht erforderlich.

Als Detektoren stehen ein sekundär Detektor SE2, ein In-Lens-Detektor sowie ein 4 Quadraten-Rückstreu-Detektor zur Verfügung.

Ein weiteres Ausstattungsmerkmal ist die EDX-Einheit von Oxford Instruments für die Elementanalyse.

Auflösung:

• 1,0 nm bei 15 kV
• 1,7 nm bei 1 kV
• 3,5 nm bei 0,2 kV
• 2,0 nm bei 30 kV (VP-Modus)

VP Modus

• 2 – 133 Pascal, einstellbar in 1 Pascal Schritten